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搞特气,你们行!科技部重点研发项目落地巨化

  今天上午,国家科技部重点研发专项——“微纳电子制造用超高纯电子气体”项目启动会在巨化召开。来自国家科技部高技术中心、集成电路材料和零部件产业技术创新战略联盟、上海交通大学、中科院半导体研究所等有关单位的专家及巨化集团领导参加了启动会。vvv中国网-最美衢州 向世界展现衢州的最美

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  也许你想知道这个项目是什么?别急!阳光君这就带你一探究竟——vvv中国网-最美衢州 向世界展现衢州的最美

  “微纳电子制造用超高纯电子气体”是2017年国家重点研发计划“战略性先进电子材料”专项项目,由巨化集团下属全资子公司浙江博瑞电子科技有限公司牵头,联合浙江师范大学、浙江氟硅技术研究院、浙江凯圣氟化学有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、深圳市华星光电技术有限公司和浙江工程设计有限公司等6家单位共同申报,并于今年8月获得国家科技部立项支持,用以解决Cl₂、HCl和HF高纯制备中影响气体纯度与一致性的关键共性科学问题和技术瓶颈为研究目标,突破Cl₂、HCl和HF的提纯除杂、检测、包装工艺,实现超高纯Cl₂、HCl和HF电子气体的工业化制备和制程应用,促进微纳电子制造用战略性先进材料的国产化。vvv中国网-最美衢州 向世界展现衢州的最美

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  国家科技部高技术中心材料处专项主管杨斌向获得国家重点研发“微纳电子制造用超高纯电子气体”的项目团队表示祝贺。“国家重点研发计划实施以来,在管理上发生了很大的改革和变化,已从原来过程监控管理转变为目标管理、静态管理变为动态管理、阶段性管理变成全过程跟踪管理。”杨斌强调,要发挥项目牵头承担单位法人的主体责任,与协作单位共同推动项目的发展。在新的研发体制下,科技人员、研发团队要全面贯彻落实党的十九大精神,把项目研发好、实施好,实现既定的目标。vvv中国网-最美衢州 向世界展现衢州的最美

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  “巨化的产业特别是电子化学材料产业上的重大转型升级,离不开在座各位领导和朋友的大力支持和帮助。”启动会上,集团总经理周黎旸向各位来宾表示热烈的欢迎和衷心的感谢。进入“十三五”以来,巨化以产业报国为己任,坚持改革创新、开放发展的战略理念,以强烈的民族使命感,将电子化学材料作为集团重点发展的战略性业务产业板块。“‘微纳电子制造用超高纯电子气体’项目启动,不仅是巨化电子化学材料产业发展的一大幸事,也是‘政府搭台、企业唱戏’的一次生动实践。”周黎旸表示,巨化将以项目为契机,跨界整合新材料、化工吸附分离与催化等领域资源,产学研用协同创新,为微纳电子制造国产化提供源头支撑。vvv中国网-最美衢州 向世界展现衢州的最美

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  现场,科技部高技术中心专项办领导介绍了项目管理工作、周黎旸为咨询专家颁发了聘任证书。项目负责人“国千人才”叶向荣汇报了项目总体情况以及实施方案,专家组成员对项目提出了意见和建议。vvv中国网-最美衢州 向世界展现衢州的最美

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  微纳电子先进制程正向大尺寸、窄线宽、高集成度、高均匀性和高完整性发展,对电子气体的品质也提出更高的要求。Cl₂、HCl 和HF 等电子气体产品具有强烈嗜水性、腐蚀性和反应性,其提纯除杂、包装、检测对材料、设备的耐蚀性要求严苛,高纯制备核心技术为跨国公司垄断并严密封锁,“国产化”需求迫切,急需国内有研发与产业化实力的单位牵头进行技术攻关与工程化开发。vvv中国网-最美衢州 向世界展现衢州的最美

  博瑞电子积极把握电子化学材料国产化的发展机遇,配置各种优质资源,导入半导体行业的先进管理方法和工具,构建完善有效的品质管理体系,并已建成超纯电子气体研发实验室、百级洁净室,配备全球最先进的气相色谱、ICP-MS、光腔衰荡光谱等高精度分析检测设备,集聚了由国家“千人计划”专家和一批海外资深专家领衔的技术团队,专注于电子化学材料产品的开发和应用研究,努力打造一个高水平的中国电子化学材料生产和服务平台。vvv中国网-最美衢州 向世界展现衢州的最美

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